公司動(dòng)態(tài)
圖說(shuō)半導(dǎo)體行業(yè)中的真空泵機(jī)組合
在半導(dǎo)體行業(yè)中都是采用羅茨真空泵與干泵組成的真空機(jī)組，一方面可以減少干泵的尺寸，另一方面可以在中真空范圍內(nèi)獲得較大的抽速。由于羅茨真空泵的軸承和同步齒輪都需要潤(rùn)滑，這潤(rùn)滑油會(huì)對(duì)真空工藝造成污染。解決的辦法是在齒輪箱的端蓋上外接一段真空管路，并用另一臺(tái)輔助真空泵將齒輪箱內(nèi)的壓力抽到低于羅茨泵的入口壓力，見(jiàn)圖1所示。
這樣，在這個(gè)壓力梯度下，齒輪箱內(nèi)油蒸汽就不會(huì)通過(guò)迷宮式軸封而進(jìn)入泵腔造成污染。另外當(dāng)羅茨真空泵抽除有害氣體時(shí)，要求電機(jī)傳動(dòng)軸的密封絕對(duì)不能泄漏，因而出現(xiàn)了屏蔽電機(jī)羅茨泵，確實(shí)做到了零泄漏。
新聞資訊
聯(lián)系方式
佛山市肯富來(lái)工業(yè)泵有限公司
電 話(huà)：400-081-2218
電 話(huà)：0757-82827159
電 話(huà)：0757-82824621
郵 編：528000
- 佛山市肯富來(lái)工業(yè)泵有限公司 版權(quán)所有 Powered by MetInfo ? ? 地址：廣東省佛山市三水區(qū)白坭鎮(zhèn)匯翠路1號(hào)、3號(hào)
肯富來(lái)水泵,水環(huán)式真空泵,肯富來(lái)真空泵,肯富來(lái)離心泵,肯富來(lái)液環(huán)泵